千葉工業大学千葉工業大学 工学部　先端材料工学科
Advanced Materials Science & Engineering

教員・研究室紹介

井上　泰志　教授

inoue.yasushi_at_p.chibakoudai.jp
047-478-4308

研究室URL：http://home.att.ne.jp/surf/isil/ys/

キーワード

材料物理学，ナノテクノロジー，材料物性，薄膜材料工学，プラズマ材料科学

研究室概要

本研究室は，物質の物理的性質に基づき，ナノテクノロジーを駆使することによって，新しい機能性材料や材料プロセスを研究・開発し，社会の持続的発展に貢献することを目指します．

研究テーマ

1. 新奇金属窒化物薄膜の創製

「プラズマ」とは，気体にエネルギーを投入して分子の一部を電離させた状態のことです．電子は大きなエネルギーを持つので，化学反応性を活性化します．一方で気体粒子は低温のままなので，プロセス全体は低温で進行します．本研究は，低圧非平衡窒素プラズマを利用して，新奇な金属窒化物を成膜し，各種物性を明らかにするとともに，新材料として応用の可能性を探ります．

2. プラズマ過程のその場計測

プラズマの中の反応過程は複雑なため，何が起こっているのかよくわかっていません．広範な工業分野で，すでにプラズマは実用に供されていますが，反応過程が不明なため，プラズマの制御は非常に困難です．本研究は，プラズマプロセスにおいて，どんな反応が進行しているのか，その場計測手法と表面・薄膜評価手法を駆使し，総合的にプラズマ中の反応過程を解析します．

3. 吸着誘起型エレクトロクロミック材料

「エレクトロクロミック（EC）」とは，電荷の出入りに従って，可逆的に物質の色が変化する現象のことです．最近，表面吸着物の交代に伴って色が変化する，新型のEC現象が発見されました．酸化タングステンなどの従来型EC材料に比べ，飛躍的に速い応答速度が期待できます．本研究は，この吸着誘起型EC現象の原理解明と，EC特性の向上と実用化のための基礎的な研究を行います．

これまでの主要な業績

  1. Y. S. Yun, M. H. Lee, Y. Inoue, N. Saito, O. Takai,
    "A Study on Electron Impact Dissociative Ionization of Organosilicon Precursors for Plasma Processing"
    J. Nanosci. Nanotechnol., 14 (2014) pp.9653-9656
  2. 井上泰志，高井治，
    "小腸絨毛構造に学ぶ形態制御エレクトロクロミック薄膜"
    材料の科学と工学，49 (2012) pp.162-165.
  3. Y. Inoue, H. Takeuchi, H. Ishikawa, O. Takai,
    "Electrochromic Properties of InN:Sn Films Deposited by Reactive Evaporation",
    Thin Solid Films, 518 (2009) pp.1001-1005.
  4. 井上　泰志，高井　治，
    "反応性プラズマ中の斜め堆積による微絨毛構造状窒化物薄膜の形成"，
    真空，52 (2009) pp.191-196.
  5. Y. Inoue, A. Yamaguchi, T. Fujihara, J. Yamazaki, O. Takai,
    "Biomimetic Improvement of Electrochromic Properties of Indium Nitride",
    J. Electrochem. Soc., 154 (2007) pp.J212-J216
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